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晶圓烘箱的結(jié)構(gòu)組成與用途
晶圓烘箱的結(jié)構(gòu)組成與用途

晶圓烘箱是半導(dǎo)體制造中用于晶圓熱處理的關(guān)鍵設(shè)備,其核心功能是通過準(zhǔn)確控溫實(shí)現(xiàn)光刻膠固化、干燥及防氧化處理,直接影響半導(dǎo)體器件的良品率與性能。結(jié)構(gòu)組成與功能模塊:1、加熱系統(tǒng):采用不銹鋼無塵加熱器,通過PID智能演算實(shí)現(xiàn)自動(dòng)恒溫,溫度波動(dòng)度控制在±0.5℃以內(nèi)。2、氣體控制系統(tǒng):支持氮?dú)鈿夥湛刂?,氧含量可低?、傳輸與潔凈系統(tǒng):工作室內(nèi)百級(jí)潔凈度,配備耐高溫高效過濾器,過濾率達(dá)0.3μ...

2025-07-03
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  • 高低溫沖擊試驗(yàn)箱的冷凍油更換方法

    高低溫沖擊試驗(yàn)箱是金屬、塑料、橡膠、電子等材料行業(yè)的測試設(shè)備,用于測試材料結(jié)構(gòu)或復(fù)合材料,在瞬間下經(jīng)高溫及極低溫的連續(xù)環(huán)境下忍受的程度,得以在短時(shí)間內(nèi)檢測試樣因熱脹冷縮所引起的化學(xué)變化或物理傷害。高低溫沖擊試驗(yàn)箱滿足的試驗(yàn)方法:GB/T2423.1.2、GB/T10592-2008、GJB150.3高低溫沖擊試驗(yàn)。在高低溫沖擊試驗(yàn)箱中,如果壓縮機(jī)是半封閉活塞壓縮機(jī)在運(yùn)行500小時(shí)內(nèi),需要觀察冷凍油的油溫和油壓變化,如果冷凍油變色了就必須更換。壓縮機(jī)組初次運(yùn)行2000小時(shí)之后,...

    20239-19
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  • 高低溫試驗(yàn)箱故障的基本排除方法

    一、高低溫試驗(yàn)設(shè)備.在高溫試驗(yàn)中,如溫度變化達(dá)不到試驗(yàn)溫度值時(shí),可以檢查電器系統(tǒng),逐一排除故障。如溫度升得很慢,就要查看風(fēng)循環(huán)系統(tǒng),看一下風(fēng)循環(huán)的調(diào)節(jié)擋板是否開啟正常,反之,就檢查風(fēng)循環(huán)的電機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)是否正常。如溫度過沖厲害那么就需要整定PID的設(shè)置參數(shù)。如果溫度直接上升,過溫保護(hù),那么,控制器出故障,須更換控制儀表。二、.高低溫試驗(yàn)設(shè)備在試驗(yàn)運(yùn)行過程中突然出現(xiàn)故障時(shí),控制儀表上出現(xiàn)對(duì)應(yīng)的故障顯示提示并有聲訊報(bào)警提示。操作人員可以對(duì)照設(shè)備的操作使用中的故障排除一章中快速檢查出屬于...

    20239-19
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  • 高低溫試驗(yàn)箱,高低溫交變?cè)囼?yàn)箱的日常維護(hù)

    1.高低溫試驗(yàn)箱一般都比較高,我們建議將其置于比較良性溫度環(huán)境中,我們的經(jīng)驗(yàn)溫度值為8℃~23℃,對(duì)不具備此條件的實(shí)驗(yàn)室,須配備適當(dāng)?shù)目照{(diào)器或冷卻塔.2.必須堅(jiān)持專人專業(yè)管理,有條件的單位應(yīng)不定期派專人到供方工廠培訓(xùn)學(xué)習(xí).以獲得較專業(yè)的維護(hù)、維修的經(jīng)驗(yàn)和能力.愛義信工業(yè)科技3.固定每3個(gè)月清洗一次冷凝器:對(duì)于壓縮機(jī)采用風(fēng)冷冷卻的,應(yīng)定期檢修冷凝風(fēng)機(jī)并對(duì)冷凝器進(jìn)行去污除塵以保證其良好的通風(fēng)換熱性能;對(duì)于壓縮機(jī)采用水冷冷卻的,除須保證其進(jìn)水壓力與進(jìn)水溫度外,還必須保證相應(yīng)流量.并...

    20239-19
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