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HMDS真空烘箱

簡(jiǎn)要描述:HMDS真空烘箱HMDS涂到樣品表面后,經(jīng)烘箱加溫可生成硅氧烷為主的化合物,將樣品表面由親水性變?yōu)槭杷?,此疏水性能夠很好的與光刻膠結(jié)合,增加了樣品表面與光刻膠的黏附作用

  • 產(chǎn)品型號(hào):HMDS-1
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2025-06-24
  • 訪  問(wèn)  量:1020

詳細(xì)介紹

品牌愛(ài)義信產(chǎn)地類別國(guó)產(chǎn)
應(yīng)用領(lǐng)域化工,生物產(chǎn)業(yè),電子/電池,航空航天,汽車及零部件

HMDS真空烘箱產(chǎn)品應(yīng)用:  晶圓勻膠前襯底助黏、“增附"處理

對(duì)于大部分光刻膠與Si襯底而言,其粘附性一般都是不錯(cuò)的,但是在光刻中,通常會(huì)用到一些例如藍(lán)寶石、氮化鎵、砷化鎵甚至是貴金屬薄膜等襯底,這類襯底與光刻膠的粘附性往往不怎么理想,這會(huì)導(dǎo)致后續(xù)的光刻顯影環(huán)節(jié)出現(xiàn)“裂紋"甚至是漂膠等問(wèn)題。因此必須通過(guò)工藝手段改善,這個(gè)步驟我們叫做增附處理或者叫做助黏。

以石英、玻璃或硅表面的氧化物(自然氧化)的形式存在的二氧化硅以及大多數(shù)金屬在暴露于大氣中在一定的下濕度足夠長(zhǎng)時(shí)間后在其表面形成極性OH鍵。這種襯底是親水性的,因此對(duì)光刻膠的非極性或低極性樹(shù)脂分子具有較差的親和力。為了使這樣的襯底表面具有疏水性,可以用化學(xué)方法將HMDS等非極性分子附著在其表面上。

HMDS與Si原子在無(wú)氧表面結(jié)合,與氧化基表面的氧原子(如有必要,OH基團(tuán)分解)結(jié)合,釋放出氨。非極性甲基直接隔離襯底表面形成疏水表面,與光刻膠具有良好的潤(rùn)濕性和附著力。

HMDS真空烘箱工作原理:

在室溫下,HMDS蒸汽通過(guò)干燥的氮?dú)庠凇捌鹋萜?中運(yùn)輸,然后傳遞到加熱的(75-120°C)基質(zhì)中,在襯底表面上HMDS作為單層膜進(jìn)行化學(xué)結(jié)合。

如果液體的HMDS被直接旋涂在襯底上,HMDS層只能起到物理上的粘附層的作用,并不能改善粘附性;其次,HMDS層在前烘過(guò)程中釋放出氨,從襯底附近的進(jìn)入交聯(lián)的光刻膠層中,從而控制顯影過(guò)程。

產(chǎn)品特性:

外觀結(jié)構(gòu):

★外殼采用A3冷軋鋼板裁剪、打磨、酸洗、磷化等表面防銹處理后烤漆,工作室采用SUS316#潔凈不銹鋼板滿焊、耐高溫密封處理,加強(qiáng)型結(jié)構(gòu),確保箱體高壓無(wú)形變。

★工作室高氣密性,氣體泄漏量可達(dá)100pa/h。

★雙層防爆鋼化玻璃觀測(cè)窗,10mm防爆玻璃內(nèi)門。

★隔熱層采用100mm厚100K高密度硅酸鋁纖維保溫材料,保溫效果佳。

★門框密封采用無(wú)氟硅橡膠密封條,耐高溫,抗老化。

溫控系統(tǒng):

★不銹鋼異性加熱器,環(huán)繞工作室外壁,四面加熱。

★7寸人機(jī)界面,PLC+PID+SSR控制,SSR無(wú)觸點(diǎn)等周期脈沖調(diào)寬,PID智能演算,自動(dòng)恒溫,超溫抑制,傳感器斷線警報(bào),斷電記憶,控溫精準(zhǔn),操控簡(jiǎn)便。

★可依工藝設(shè)置多種運(yùn)行模式

高精度PT100不銹鋼鎧裝鉑金電阻溫度傳感器

安全系統(tǒng):

★按鍵鎖

★HMDS液位報(bào)警

★超溫保護(hù)

★電流過(guò)載保護(hù)

★相序保護(hù)

★漏電保護(hù)

★接地保護(hù)

規(guī)格參數(shù):

設(shè)備型號(hào)

Model

HMDS-1

控溫范圍

Operating Temp. Range

RT+10~200℃

溫度分辨率

Temperature resolution

0.1℃

溫度波動(dòng)度

Control stability

±0.5℃

真空泵

 Vacuum pump

干式真空泵    4L/min

真空度

Vacuum degree

133pa(1mmHg/1.33mbar)/    >-1012mbar

氮?dú)饨涌?/span>

Nitrogen interface

Φ8mm

內(nèi)部尺寸

Chamber size

W450*D450*H450mm

外部尺寸

Overall size

W1100*D800*H1500mm

層架

Number of pallets

2PSC

電源

Power supply

AC380V 50HZ

功率

Heating power

3.5KW

運(yùn)行方式

Operation mode

PLC控制,手動(dòng)設(shè)定工藝流程,自動(dòng)運(yùn)行

操作界面

Operation interface

7寸觸摸屏HMI人機(jī)界面控制器(可編程,帶歷史曲線、USB轉(zhuǎn)存儲(chǔ)功能)

 

HMDS真空烘箱


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