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晶圓烘箱的結(jié)構(gòu)組成與用途
晶圓烘箱的結(jié)構(gòu)組成與用途

晶圓烘箱是半導(dǎo)體制造中用于晶圓熱處理的關(guān)鍵設(shè)備,其核心功能是通過準(zhǔn)確控溫實現(xiàn)光刻膠固化、干燥及防氧化處理,直接影響半導(dǎo)體器件的良品率與性能。結(jié)構(gòu)組成與功能模塊:1、加熱系統(tǒng):采用不銹鋼無塵加熱器,通過PID智能演算實現(xiàn)自動恒溫,溫度波動度控制在±0.5℃以內(nèi)。2、氣體控制系統(tǒng):支持氮氣氣氛控制,氧含量可低至3、傳輸與潔凈系統(tǒng):工作室內(nèi)百級潔凈度,配備耐高溫高效過濾器,過濾率達(dá)0.3μ...

2025-07-03
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  • 高低溫濕熱試驗機(jī)的維護(hù)保養(yǎng)

    高低溫濕熱試驗機(jī)是一種用于模擬環(huán)境中溫度和濕度變化對物品、設(shè)備或材料影響的測試設(shè)備,廣泛應(yīng)用于產(chǎn)品可靠性、耐久性和適應(yīng)性測試。其主要功能是通過調(diào)節(jié)溫度和濕度的變化,測試產(chǎn)品在特殊環(huán)境條件下的性能表現(xiàn)。此類試驗機(jī)可以模擬溫度變化、濕度波動以及溫濕度交替變化等復(fù)雜環(huán)境,從而幫助制造商在產(chǎn)品設(shè)計和生產(chǎn)過程中檢測其可靠性和耐用性。高低溫濕熱試驗機(jī)的工作原理:1.溫度控制:試驗機(jī)內(nèi)的溫度控制系統(tǒng)通常采用壓縮機(jī)制冷和加熱裝置來調(diào)節(jié)溫度。在高溫試驗?zāi)J较?,通過加熱系統(tǒng)升高箱內(nèi)的溫度;而在低...

    20257-2
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  • 干燥箱與防潮箱的設(shè)計區(qū)別

    干燥箱防潮箱是兩種常見的實驗室設(shè)備,它們都具有控制溫度和濕度的功能。干燥箱通常用于去除物品表面或內(nèi)部的水分,而防潮箱則用于保護(hù)一些對潮濕敏感的物品。干燥箱的原理基于加熱、通風(fēng)和濕度控制。它通常由一個封閉式的箱體和一個加熱元件組成。加熱元件可以是電熱絲、電熱管或者紅外線燈泡,它會產(chǎn)生熱量并將其傳遞給物品表面或內(nèi)部。箱體內(nèi)部通常配備通風(fēng)口和風(fēng)扇,用于將熱空氣循環(huán)流動并加速物品表面或內(nèi)部的水分蒸發(fā)。此外,干燥箱還配備了一個濕度控制裝置,用于調(diào)節(jié)箱體內(nèi)部的濕度水平設(shè)計干燥箱時需要考慮...

    20257-1
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  • 實驗室真空設(shè)備的真空泵的選擇

    大多數(shù)實驗室設(shè)備都會配上真空泵,因為真空泵不是一個單一的設(shè)備,它可以和其他的儀器配套使用。比如真空抽濾、微生物檢測、廢液抽取、旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)儀、愛義信真空干燥箱、凍干機(jī)等設(shè)備。干事真空泵在實驗室中用的最多的就是無油活塞式(多用于微生物檢測)和耐腐蝕隔膜式(多用于化學(xué)實驗室)兩種?;钊揭话愫驼婵粘闉V、微生物檢測、廢液抽取、愛義信真空干燥箱等設(shè)備配套使用。耐腐蝕隔膜泵一般和旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)儀、愛義信真空干燥箱、離心濃縮等配套使用。防腐蝕隔膜真空泵適合于化學(xué)、制藥、石化等行業(yè)對腐蝕性氣體的處理...

    20256-30
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  • 流水線烘箱在電子元器件的生產(chǎn)中的作用

    流水線烘箱是現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn)中重要的設(shè)備之一,廣泛應(yīng)用于電子、食品、涂裝、塑料、印刷等多個行業(yè),用于加熱、烘干、固化、消毒等工藝過程。它在生產(chǎn)線上起到加速工藝流程、提高生產(chǎn)效率和確保產(chǎn)品質(zhì)量的關(guān)鍵作用。流水線烘箱的結(jié)構(gòu)特點:1.加熱系統(tǒng):烘箱的加熱系統(tǒng)根據(jù)不同的需求可選用不同類型的加熱方式。常見的加熱方式包括電熱管、蒸汽熱交換器、燃?xì)鉅t等。每種加熱方式的選擇根據(jù)被烘烤物品的性質(zhì)和生產(chǎn)環(huán)境來決定。2.空氣循環(huán)系統(tǒng):高效的空氣循環(huán)系統(tǒng)是關(guān)鍵組成部分。通過風(fēng)機(jī)和導(dǎo)風(fēng)管道,熱空氣可以均勻...

    20256-27
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  • 智能氮氣柜的使用方法與應(yīng)用

    智能氮氣柜主要是利用氮氣來降低濕度從而防止氧化的,除濕效果非常穩(wěn)定,柜體本身具有送氮和排氣的通路,通過氮氣的充入度隨之降低。智能氮氣柜的使用:1、放置在通風(fēng)良好的地方,連接好電源和氣源。根據(jù)需要設(shè)置好氧氣濃度和氮氣濃度的安全范圍。2、將樣品放入柜內(nèi),關(guān)閉柜門。啟動控制系統(tǒng),系統(tǒng)會自動向柜內(nèi)注入氮氣,同時將柜內(nèi)的氧氣排出。當(dāng)柜內(nèi)的氧氣濃度降低到設(shè)定的安全范圍內(nèi)時,系統(tǒng)會自動停止注入氮氣,并保持柜內(nèi)的氮氣濃度穩(wěn)定。3、在操作過程中,確保柜門始終處于關(guān)閉狀態(tài)。當(dāng)需要取出或放入化學(xué)品...

    20256-27
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  • 潔凈室氮氣柜的優(yōu)點

    潔凈室氮氣柜是一種用于保護(hù)光敏材料等對空氣中微小粒子非常敏感的物質(zhì)的設(shè)備。主要通過向工作區(qū)供應(yīng)高純度氮氣,從而將空氣中的有害微粒和濕氣排除。結(jié)構(gòu)由上、下兩部分組成,上部為氮氣發(fā)生器,下部為儲存?zhèn)}和過濾系統(tǒng)。氮氣發(fā)生器采用電解技術(shù),將普通空氣中的氧氣和氮氣分離,得到高純度的氮氣,其純度可達(dá)99.99%以上。儲存?zhèn)}內(nèi)裝有氮氣儲罐,過濾系統(tǒng)則包括粗濾、精濾和活性炭吸附三個部分,以去除殘留的雜質(zhì)和異味。潔凈室氮氣柜通過氮氣發(fā)生器產(chǎn)生高純度氮氣,并將氮氣通過管道輸送到工作區(qū)。工作區(qū)內(nèi)的...

    20256-25
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  • 晶圓烘箱的結(jié)構(gòu)組成

    晶圓烘箱是半導(dǎo)體制造中用于晶圓熱處理的關(guān)鍵設(shè)備,其核心功能是通過準(zhǔn)確控溫實現(xiàn)光刻膠固化、干燥及防氧化處理,直接影響半導(dǎo)體器件的良品率與性能。結(jié)構(gòu)組成與功能模塊:1、加熱系統(tǒng):采用不銹鋼無塵加熱器,通過PID智能演算實現(xiàn)自動恒溫,溫度波動度控制在±0.5℃以內(nèi)。2、氣體控制系統(tǒng):支持氮氣氣氛控制,氧含量可低至3、傳輸與潔凈系統(tǒng):工作室內(nèi)百級潔凈度,配備耐高溫高效過濾器,過濾率達(dá)0.3μm粒子99.995%以上。隔板高度可調(diào),適應(yīng)不同尺寸晶圓的加工需求。應(yīng)用場景:1...

    20256-25
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  • 真空烘箱的基本介紹

    真空烘箱,也稱為真空干燥箱,是一種重要的實驗室設(shè)備,廣泛應(yīng)用于各種樣品的干燥和熱處理過程中。它的主要功能是在真空環(huán)境下對物品進(jìn)行加熱,以實現(xiàn)快速、高效的干燥過程。真空烘箱通常由一個密閉的金屬箱體、真空泵、加熱元件和溫度控制器等組成。它的工作原理是利用真空泵將箱體內(nèi)的空氣抽出,以創(chuàng)造一個低氣壓的環(huán)境。然后,通過加熱元件對物品進(jìn)行加熱,使水分迅速蒸發(fā)。相比傳統(tǒng)的干燥方法,如晾曬、烘烤等,真空干燥箱具有許多優(yōu)點。首先,它可以在短時間內(nèi)完成干燥過程,大大提高了工作效率。其次,由于是在...

    20256-24
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  • 如何正確選擇環(huán)境試驗箱

    為確保你所選購的產(chǎn)品盡可能經(jīng)濟(jì)實用,你在選擇產(chǎn)品時,請務(wù)必確認(rèn)下列事項:1、工作室尺寸大小(一般以試品容積不超過工作室整體容積的1/5)。2、溫度范圍,有無溫度程序變化或快速溫變要求,若有,請給定參考溫度變化速度。3、濕度范圍,有無低溫低濕要求、有無濕度程序變化要求,若有,請給定對應(yīng)關(guān)系圖。4、有無負(fù)載,負(fù)載是否發(fā)熱,若發(fā)熱請給定參考功率。5、制冷機(jī)冷卻方式的選擇,應(yīng)結(jié)合試驗室和當(dāng)?shù)氐膶嶋H情況。如果選用制冷系統(tǒng)較小的試驗箱,可優(yōu)先考慮風(fēng)冷;如果選用制冷系統(tǒng)較大的試驗箱,在條件...

    20256-23
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  • 真空烘箱的真空度(絕對壓力與相對壓力)

    真空烘箱是干燥熱敏性、易分解和易氧化等物質(zhì)而設(shè)計的,工作可使室內(nèi)保持一定的真空度,并向真烘箱內(nèi)部充入惰性氣體。那么真空烘箱的真空度是絕對值還是相對值的呢?“相對真空度"是指被測對象的壓力與測量地點大氣壓的差值。對于真空度的標(biāo)識通常有兩種方法:1.用“相對壓力"來標(biāo)識2.用“絕對壓力"標(biāo)識。在實際情況中,真空泵的壓力值介于0~101.325KPa之間。在真空狀態(tài)下,真空烘箱的箱內(nèi)氣體的稀薄程度通常用氣體的壓力值來表示,真空干燥箱的壓力值越小則表示氣體越稀薄。

    20256-10
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  • 精密真空干燥箱的使用

    大家都知道精密真空烤箱是將干燥物料處于負(fù)壓條件下進(jìn)行干燥的一種箱體式干燥設(shè)備,它利用真空泵進(jìn)行抽氣抽濕,使工作室內(nèi)形成真空狀態(tài),降低水的沸點,加快干燥的速度。愛義信精密真空烤箱具體干燥物品速度快、污染小、不對被干燥物品的內(nèi)在質(zhì)量造成破壞的優(yōu)點。但您知道愛義信精密真空烤箱為什么要先抽真空再運(yùn)行使用嗎?1、試驗品放入精密真空烘箱里抽真空是為了抽去工件材質(zhì)中可以抽去的氣體成分。如果先加熱工件,氣體遇熱就會膨脹。由于烘箱的密封性非常好,膨脹氣體所產(chǎn)生的巨大壓力有可能使觀察窗鋼化玻璃爆...

    20256-4
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  • 全自動氮氣柜的工作原理

    傳統(tǒng)的氮氣柜通過氮氣的大量填充,從而達(dá)到防氧化,保護(hù)柜內(nèi)物體的目的。隨著防潮技術(shù)的發(fā)展和進(jìn)步,傳統(tǒng)的氮氣柜也逐漸顯露出弊端:氮氣的大量填充造成成本上升;柜體密封性差,導(dǎo)致氮氣泄露,對工作人員的身體造成傷害;柜內(nèi)濕度不能隨時掌控,對存放物品造成損失等。全自動氮氣柜有內(nèi)置高純度氮氣發(fā)生器的氮氣存儲柜或設(shè)備。通過控制內(nèi)部的相對濕度和含氧量濃度,來達(dá)到氮氣存儲防氧化目的。該產(chǎn)品被廣泛應(yīng)用在微電子,半導(dǎo)體,新能源,工行業(yè)的研發(fā)生產(chǎn)工序。用于各類貴金屬材料,半導(dǎo)體器件和敏感器件的防氧化保...

    20256-3
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