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晶圓烘箱的結(jié)構(gòu)組成與用途
晶圓烘箱的結(jié)構(gòu)組成與用途

晶圓烘箱是半導體制造中用于晶圓熱處理的關(guān)鍵設(shè)備,其核心功能是通過準確控溫實現(xiàn)光刻膠固化、干燥及防氧化處理,直接影響半導體器件的良品率與性能。結(jié)構(gòu)組成與功能模塊:1、加熱系統(tǒng):采用不銹鋼無塵加熱器,通過PID智能演算實現(xiàn)自動恒溫,溫度波動度控制在±0.5℃以內(nèi)。2、氣體控制系統(tǒng):支持氮氣氣氛控制,氧含量可低至3、傳輸與潔凈系統(tǒng):工作室內(nèi)百級潔凈度,配備耐高溫高效過濾器,過濾率達0.3μ...

2025-07-03
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  • 工業(yè)烘箱的構(gòu)造和分類

    工業(yè)烘箱又叫干燥箱、烤箱等,主要采用熱風循環(huán)送風來干燥物料,熱風循環(huán)系統(tǒng)分為水平送風和垂直送風。一般廣泛應(yīng)用于工礦企業(yè)、化驗室外、科研單位等作干燥、烘焙、熔臘之用。工業(yè)烘箱構(gòu)造一、在工業(yè)烘箱的構(gòu)造方面1、工業(yè)烘箱工作室(內(nèi)膽):內(nèi)膽的材質(zhì)對于高溫環(huán)境的要求也是非常高的,一般情況分搪瓷鋼板,鍍鋁鋼板,鍍鋅鋼板,不銹鋼四種材質(zhì)。2、加熱性能:市場上一般有石英加熱管和不銹鋼加熱管,兩者各有千秋,注重節(jié)能環(huán)保的可以選購價格便宜的石英管,但是在使用和壽命方面不銹鋼優(yōu)勢更大。溫控器一般采...

    20239-21
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  • 步入式恒溫恒濕室的日常保養(yǎng)

    溫馨提示:步入式恒溫恒濕房也要記得保養(yǎng)!1、步入式恒溫恒濕房溫濕度試驗系統(tǒng)必須由專人操作維護。嚴格遵守系統(tǒng)操作規(guī)程,避免他人違章操作系統(tǒng)。2、步入式恒溫恒濕房長時間停機不用,會影響系統(tǒng)的有效使用壽命,因此,系統(tǒng)每10天至少要開機運行一次;不要在短時間內(nèi)反復(fù)地使系統(tǒng)運行一停止,每小時啟動次數(shù)應(yīng)小于5次,每次開—停的時間間隔不小于3min;不要在低溫時打開步入式溫濕度試驗系統(tǒng)的大門,以防止損壞門密封帶。3、應(yīng)建立系統(tǒng)使用檔案,以方便系統(tǒng)的維護維修。使用檔案應(yīng)記錄系統(tǒng)每次運行的起止...

    20239-21
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  • 環(huán)境試驗設(shè)備常用術(shù)語

    一、試驗設(shè)備容積環(huán)境試驗箱內(nèi)壁所限定的空間的實際容積,用㎡表示二、工作空間試驗箱中能將規(guī)定的試驗條件保持在規(guī)定偏差范圍內(nèi)的那部分空間三、試驗箱穩(wěn)定狀態(tài)試驗箱工作空間內(nèi)的任意點的自身變化量達到設(shè)備本身性能指標要求時的狀態(tài)四、溫度偏差真空烘箱穩(wěn)定狀態(tài)下,工作空間各測量點在規(guī)定時間內(nèi)實測最高溫度和zui低溫度與標稱溫度的上下溫差。五、相對濕度溫差試驗箱穩(wěn)定狀態(tài)下,工作空間各測量點在規(guī)定時間內(nèi)實測最高相對濕度和zui低相對濕度與標稱相對濕度的上下偏差六、溫度波動度鼓風烘箱穩(wěn)定狀態(tài)下,...

    20239-21
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  • 環(huán)境試驗標準目錄

    1.GB/T2421-1999電工電子產(chǎn)品環(huán)境試驗第1部分:總則2.GB/T2422-1995電工電子產(chǎn)品環(huán)境試驗術(shù)語3.GB/T2423.1-1989電工電子產(chǎn)品基本環(huán)境試驗規(guī)程試驗A:低溫試驗方法4.GB/T2423.2-1989電工電子產(chǎn)品基本環(huán)境試驗規(guī)程試驗B:高溫試驗方法5.GB/T2423.3-1993電工電子產(chǎn)品基本環(huán)境試驗規(guī)程試驗Ca:恒定濕熱試驗方法6.GB/T2423.4-1993電工電子產(chǎn)品基本環(huán)境試驗規(guī)程試驗Db:交變濕熱試驗方法7.GB/T2423....

    20239-21
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  • 冷熱沖擊試驗箱的除霜功能

    首先我們來看霜是什么,它長在什么地方。霜是空氣中的水遇冷后瞬間迅速冷卻結(jié)晶的結(jié)果,霜就是小冰晶,霜結(jié)厚了就很容易變成厚厚的冰。冷熱沖擊箱中的霜是長在預(yù)冷區(qū)的蓄能組件上的。冷熱沖擊是通過三個箱體間的氣流轉(zhuǎn)換來交換熱量,達到?jīng)_擊效果的。這三個箱體與箱外的空氣隔絕開來的。也就是說相對外界,這三個箱體是密閉的。既然是密閉的空間,那么他們的水分含量就是定量的,不可能憑空生出額外的水分來。也就是說理論上講,預(yù)冷區(qū)是不應(yīng)該有霜的。但是追根溯源,水分是哪里來的?這三個箱體僅有測試區(qū)是可供客戶...

    20239-21
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  • 無塵潔凈烘箱的工作原理

    潔凈無塵烘箱是一種專門用于在無菌或無塵環(huán)境下進行物品烘干和加熱的設(shè)備。它通常由不銹鋼或鋁制成,并配備有高效的過濾系統(tǒng),以保證烘箱內(nèi)部的空氣干凈無塵。潔凈無塵烘箱是通過加熱空氣來干燥物品,同時通過過濾和除塵系統(tǒng)保持烘箱內(nèi)部的潔凈和無塵環(huán)境。工作過程中無塵烘箱為內(nèi)部加熱,將空氣加熱到要求的溫度,同時通過內(nèi)部的換氣系統(tǒng)不斷地將外界新鮮的空氣引入,形成循環(huán)的氣流。在這個過程中,通過過濾器過濾掉空氣中的雜質(zhì)和微粒,同時通過靜電效應(yīng)、紫外線消毒等手段殺死空氣中的細菌和病毒,使烘箱內(nèi)部保持...

    20239-20
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  • 工業(yè)烘箱的使用說明

    工業(yè)烘箱分為水平對流式和上下對流式兩種,工作室較小的采用水平對流式,發(fā)熱部分在上部,工作室較大的則采用上下對流式,發(fā)熱部分在上部,電機安裝在上部或后部,通過帶動風輪將熱量流通到工作室,如此循環(huán)。工業(yè)烘箱使用注意事項:1、烘箱應(yīng)安放在室內(nèi)干燥和水平處,防止振動和腐蝕。2、要注意安全用電,根據(jù)烘箱耗電功率安裝足夠容量的電源閘刀。選用足夠的電源導線,并應(yīng)有良好的接地線。3、帶有電接點水銀溫度計式溫控器的烘箱應(yīng)將電接點溫度計的兩根導線分別接至箱頂?shù)膬蓚€接線柱上。另將一支普通水銀溫度計...

    20239-20
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  • 無氧烘箱的優(yōu)勢與原理

    無氧烘箱是一種用于物體干燥和加熱的設(shè)備,其特點是在內(nèi)部環(huán)境中不加氧氣,達到保護物體避免氧化、變質(zhì)的目的作用。無氧烘箱可以廣泛應(yīng)用于陶瓷、玻璃、金屬、化學、電子等行業(yè),適用于各種高溫處理和燒結(jié)材料的制造。工作原理:在工業(yè)傍邊利用的這類烘箱,凡是會利用雙機電程度輪回的送風方式,如許能讓風輪回更平均,這類烘箱的風源是經(jīng)由過程輪回送風機電帶動風輪顛末電熱器把熱風送出,然后在經(jīng)由過程風道到充氮烘箱的內(nèi)部,把利用以后的空氣吸入到風道成為風源再度輪回,做加熱利用。它能包管烘箱室內(nèi)溫度的平均...

    20239-20
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  • 精密熱風循環(huán)烘箱的工作原理

    精密熱風循環(huán)烘箱,電池真空烤箱也是鋰電池生產(chǎn)制造中必須可少的加工處理設(shè)備,不同于其他電池檢測設(shè)備,電池真空烤箱是用來為鋰電池生產(chǎn)中進行除水。電池真空烤箱發(fā)揮了相當大的作用,鋰電池在進行制作封口時,如果含水量超標,就極有可能會導致電池發(fā)熱甚至爆炸,因此電池真空烤箱可以進行除水,使得鋰電池在使用的時候更安全高效。電池真空烤箱也叫做電池真空烘箱,其工作原理是利用了水在氣壓-0.089Mpa時沸點只有45℃的特性進行加熱烘烤除水,溫度不影響到鋰電池的性能變化,待水氣化以后,將水蒸氣抽...

    20239-20
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  • 真空烘箱的真空泵的工作原理與分類

    1、真空泵的工作壓強應(yīng)該滿足真空設(shè)備的極限真空及工作壓強要求,選用的真空泵的真空度佳的數(shù)值是133pa=-0.1兆帕。通常選擇泵的真空度要高于真空設(shè)備真空度半個到一個數(shù)量級。2、正確地選擇真空泵的工作點。每種泵都有一定的工作壓強范圍。3、真空泵在其工作壓強下,應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。4、正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣,因而,有時選用一種泵不能滿足抽氣要求需要幾種泵組合起來,互相補充才能滿足抽氣要求,如鈦升華泵對氫有很高的抽速,但不能抽氦,而三極型...

    20239-20
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  • 操作恒溫恒濕試驗箱的注意事項

    1、為避免恒溫恒濕試驗箱發(fā)生機器故障,請?zhí)峁╊~定電壓范圍內(nèi)的電源。2、為了防止觸電或產(chǎn)生誤動作和故障,在安裝和接線結(jié)束之前,請不要接通電源。3、本產(chǎn)品為非防爆產(chǎn)品,請不要在有可燃或爆炸性氣體的壞境中使用恒溫恒濕機。4、儀器工作中請盡量不要打開試驗箱門,高溫時打開可能會對操作人員造成燙傷,低溫時打開可能會對工作人員造成凍傷,并且可能造成蒸發(fā)器結(jié)冰,影響制冷效果。若一定要打開,請做好一定的防護工作,5、禁止擅自拆卸、加工、改造或修理恒溫恒濕機,否則會有產(chǎn)生異常動作、觸電或火災(zāi)的危...

    20239-19
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  • 高低溫試驗箱的冷卻方式

    高低溫試驗箱是環(huán)境試驗設(shè)備里面常見的溫度試驗設(shè)備,適用于工業(yè)產(chǎn)品高溫、低溫的可靠性試驗。高低溫試驗箱制冷的工作原理是:制冷劑在高壓下從冷凝器流出,通過節(jié)流機構(gòu)(毛細管,熱力膨脹閥等),使其壓力降低,再進入蒸發(fā)器。制冷介質(zhì)進入蒸發(fā)器時是兩相混合物(液態(tài)和氣態(tài)),在蒸發(fā)器中低溫條件下蒸發(fā)吸收熱量。而后進入冷凝器,在冷凝器中放出熱量而冷凝成液體。氙燈老化試驗箱采用長弧氙燈為光源,可以為科研、產(chǎn)品開發(fā)和質(zhì)量控制提供相應(yīng)的環(huán)境模擬和加速試驗。汽車環(huán)境模擬試驗室能模擬發(fā)動機冷啟動、汽車高...

    20239-19
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