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如何處理HMDS使用中的常見問題

更新時間:2025-03-03      點(diǎn)擊次數(shù):759

在HMDS(六甲基二硅氮烷)使用過程中,附著力不足和污染是兩大常見問題。以下是針對這些問題的系統(tǒng)性解決方案,涵蓋原因分析、解決措施及預(yù)防策略:


一、附著力不足的解決方案

1. 原因分析與對應(yīng)措施

1,基底清潔 強(qiáng)化清洗流程:SC1(NH?OH/H?O?/H?O)清洗 → 超純水沖洗 → 氮?dú)飧稍?/span>

- 增加氧等離子體清洗(100 W, 1–2分鐘)

2,HMDS失效或污染:更換新鮮HMDS(儲存條件:密封充氮,濕度<30%)
- 驗(yàn)證HMDS有效期(通常開封后≤6個月)

3,工藝參數(shù)偏差:優(yōu)化參數(shù):溫度升至130–140°C,時間延長至2分鐘
-采用階梯升溫(如100°C預(yù)熱 → 130°C反應(yīng))

4,環(huán)境濕度干擾:在潔凈室(Class 1000以下)操作,增加局部氮?dú)夂煾綦x濕氣

2. 增強(qiáng)附著力的進(jìn)階方法




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