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晶圓烘箱的應(yīng)用

更新時(shí)間:2025-03-04      點(diǎn)擊次數(shù):456
晶圓烘箱用于晶圓、半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門;也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。
  工作原理主要基于熱對流方式。在烘箱內(nèi)部,通過電熱器等產(chǎn)生熱風(fēng),使熱風(fēng)循環(huán)流動(dòng),從而對待烘干的半導(dǎo)體材料進(jìn)行均勻地加熱和干燥。這種加熱方式特別適合處理較厚的半導(dǎo)體材料,并能達(dá)到較好的烘干效果。
  晶圓烘箱通常具有多種特性,例如密封性能好、置物架設(shè)計(jì)方便、控溫靈敏準(zhǔn)確等。在半導(dǎo)體制造過程中起到了保證晶圓干燥度和表面純凈度的重要作用,是確保半導(dǎo)體器件質(zhì)量和可靠性的關(guān)鍵環(huán)節(jié)之一。
  本公司提供的晶圓烘箱采用導(dǎo)軌式智能AI溫度控制模塊,控溫精度0.1級,自動(dòng)恒溫,智能PID演算,帶30段程序升溫,帶傳感器斷線警報(bào),AT自整定,超溫控制,斷電記憶功能,控溫準(zhǔn),穩(wěn)定性好。


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