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半導(dǎo)體氮氣柜

簡要描述:半導(dǎo)體氮氣柜適合半導(dǎo)體前端單晶硅制作過程中硅片及晶圓盒的存放,防止硅片的返顆粒,返霧現(xiàn)象; 由于普通的干燥存儲柜或者氮氣柜設(shè)計都為全封閉環(huán)境,且無自凈功能,故內(nèi)部容易積聚大量灰塵,而這些灰塵極可能粘附在存儲品上。潔凈柜則適合存放需要避免灰塵污染的物品。

  • 產(chǎn)品型號:CIN
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時間:2025-06-24
  • 訪  問  量:682

詳細(xì)介紹

品牌愛義信應(yīng)用領(lǐng)域能源,電子/電池,航空航天,汽車及零部件,電氣

產(chǎn)品特性:

1、4英寸超高亮數(shù)碼管顯示,可視距離30米,可加裝氮氣節(jié)約控制系統(tǒng),可加裝報警系統(tǒng)。

2、無塵風(fēng)機——采用進(jìn)口無塵室專用FFU風(fēng)機,鍍鋁鋅板材質(zhì),鋁合金葉輪,風(fēng)速0.3-0.45m/s,噪音<=55dB。

3、雙面護(hù)網(wǎng)高效過濾器——過濾效率高99.99%@0.3um。

4、半導(dǎo)體氮氣柜采用模組化設(shè)計,溫濕度顯示器、控制系統(tǒng)、除塵系統(tǒng)及除靜電系統(tǒng)均能快速更換, 保養(yǎng)及維修簡便,大大提升維護(hù)效率。

5、配備氮氣節(jié)約裝置,系統(tǒng)會根據(jù)濕度設(shè)定值,自動切斷和打開氮氣供應(yīng),相比市場其他直充氮氣機型可節(jié)約70%氮氣消耗量。大程度降低使用成本。

6、半導(dǎo)體氮氣柜采用多點供氣系統(tǒng)。氮氣通過蜂窩孔沖入工作室,氮氣分布更加均勻。避免了普通單點供氣而產(chǎn)生的死點死角現(xiàn)象。

7、低能源綠色環(huán)保設(shè)計,不返潮、不發(fā)熱、不滴水、無任何噪音,產(chǎn)品通過ROSH等相關(guān)認(rèn)證。


技術(shù)參數(shù):

1、材質(zhì):雙鏡面304不銹鋼

2、外尺寸: 1300W*1836H*800Dmm

3、內(nèi)尺寸: 1253W*1110H*650Dmm

4、除濕等級: 相對濕度可達(dá)到5%Rh以下 (配合充氮氣)

5、潔凈等級: ISO Class 2(百級) ISO Class 3(千級)

6、濕度顯示范圍: 0.1%RH-99.9%RH

7、濕度顯示范圍: -40℃-70.0℃(-9.9℃以下顯示不帶小數(shù)點)

8、溫濕度顯示器精度: 相對濕度±3%Rh,溫度±1℃




 

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