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HMDS烘箱的應(yīng)用

更新時(shí)間:2025-02-28      點(diǎn)擊次數(shù):498

HMDS烘箱主要用于半導(dǎo)體和微電子制造中的光刻工藝,具體應(yīng)用如下:

1. 去除光刻膠中的溶劑

2. 增強(qiáng)附著力

3. 提高光刻精度

4. 工藝穩(wěn)定性

5. 提高生產(chǎn)效率

6. 應(yīng)用領(lǐng)域

總結(jié)

HMDS烘箱在半導(dǎo)體和微電子制造中至關(guān)重要,通過(guò)去除溶劑、增強(qiáng)附著力、提高精度和穩(wěn)定性,確保光刻工藝的高效與可靠。


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