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應(yīng)用案例

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潔凈氮?dú)夤馛IN-900

發(fā)表時(shí)間:2023/10/17 14:36:30

產(chǎn)品應(yīng)用:

適合半導(dǎo)體前端單晶硅制作過程中硅片及晶圓盒的存放,防止硅片的返顆粒,返霧現(xiàn)象; 由于普通的干燥存儲(chǔ)柜或者氮?dú)夤裨O(shè)計(jì)都為全封閉環(huán)境,且無自凈功能,故內(nèi)部容易積聚大量灰塵,而這些灰塵極可能粘附在存儲(chǔ)品上。潔凈柜則適合存放需要避免灰塵污染的物品.

產(chǎn)品特性:

    ★4英寸超高亮數(shù)碼管顯示,可視距離30米,可加裝氮?dú)夤?jié)約控制系統(tǒng),可加裝報(bào)警系統(tǒng)

★無塵風(fēng)機(jī)——采用進(jìn)口無塵室專用FFU風(fēng)機(jī),鍍鋁鋅板材質(zhì),鋁合金葉輪,風(fēng)速0.3-0.45m/s,噪音<=55dB。

★雙面護(hù)網(wǎng)高效過濾器——過濾效率高99.99%@0.3um。

★模組化設(shè)計(jì),溫濕度顯示器、控制系統(tǒng)、除塵系統(tǒng)及除靜電系統(tǒng)均能快速更換, 保養(yǎng)及維修簡便,大大提升維護(hù)效率。

技術(shù)參數(shù): 

材質(zhì)雙鏡面304不銹鋼

外尺寸: 1300W*1836H*800Dmm

內(nèi)尺寸: 1253W*1110H*650Dmm

除濕等級(jí): 相對(duì)濕度可達(dá)到5%Rh以下 (配合充氮?dú)猓?/span>

潔凈等級(jí): ISO Class 2(百級(jí)) ISO Class 3(千級(jí))

濕度顯示范圍: 0.1%RH-99.9%RH

濕度顯示范圍: -40℃-70.0℃-9.9℃以下顯示不帶小數(shù)點(diǎn))

溫濕度顯示器精度: 相對(duì)濕度±3%Rh,溫度±1℃

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