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無塵室氮氣柜的結(jié)構(gòu) 組成及具體操作流程

更新時間:2024-03-01      點擊次數(shù):829
  無塵室氮氣柜是一種用于存儲和管理敏感電子元件、半導(dǎo)體晶圓、精密儀器等物品的設(shè)備,能夠提供一個無塵且低濕度的環(huán)境,以防止物品受到污染或氧化。這種設(shè)備通常使用純凈的氮氣來置換柜內(nèi)的空氣中的氧氣和水分,從而保持內(nèi)部的環(huán)境穩(wěn)定。工作原理基于氮氣的特性,即不活躍、不易與其他物質(zhì)反應(yīng)。通過向柜內(nèi)充入高純度的氮氣,可以顯著降低柜內(nèi)的氧氣和水分含量,從而防止氧化和濕氣對敏感物品的影響。同時,無塵室內(nèi)的環(huán)境控制確保了柜外的污染物不會進入柜內(nèi),保護了內(nèi)部的物品。
 

 

  無塵室氮氣柜的主要組成部分:
  1.密封柜體:提供一個封閉的空間,以保持內(nèi)部的無塵環(huán)境。
  2.氮氣供應(yīng)系統(tǒng):包括氮氣瓶或氮氣生成器,以及調(diào)節(jié)和輸送氮氣的管道和閥門。
  3.控制系統(tǒng):用于監(jiān)測和調(diào)節(jié)柜內(nèi)的溫濕度、氮氣流量和壓力等參數(shù)。
  4.HEPA過濾器:過濾進入柜內(nèi)的空氣中的微粒,確保無塵環(huán)境。
  5.除濕裝置:進一步降低柜內(nèi)的濕度,防止潮濕對物品的影響。
  操作流程:
  1.將需要存儲的物品放入氮氣柜內(nèi)。
  2.關(guān)閉柜門并確保密封良好。
  3.啟動氮氣供應(yīng)系統(tǒng),向柜內(nèi)充入高純度的氮氣。
  4.通過控制系統(tǒng)監(jiān)測柜內(nèi)的氧氣和水分含量,確保達到所需的環(huán)境標準。
  5.定期檢查氮氣柜的性能,包括密封性、過濾器的清潔度和氮氣供應(yīng)系統(tǒng)的運行狀況。
  無塵室氮氣柜的維護與保養(yǎng):
  1.定期更換或清潔HEPA過濾器,確保無塵環(huán)境。
  2.檢查氮氣供應(yīng)系統(tǒng),確保氮氣的連續(xù)和穩(wěn)定供應(yīng)。
  3.校準控制系統(tǒng),確保準確的環(huán)境監(jiān)測和調(diào)節(jié)。
  4.檢查柜體的密封性,防止外部污染物進入。
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